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Piezoelectric Crystal
    Publish time 2014-10-11 17:32    

Substrate:LiTaO3;LiNiO3;Al2O3

Piezoelectric Crystal

LiTaO3 Wafer


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Specifications

材料Material

3" 4" 6"  Wafer 钽酸锂晶片

(SAW wafer声表级/Optical level光学级)

切型 Cut

X112°/Y28°/Y36°/Y42°/YZ   可定制切角

居里温度Juli  Temp

605°C±3°C

掺杂Dot

Fe 铁



LiNiO3 Wafer


Specifications

直径Diameter

76.2±0.2mm

100±0.2mm

150±0.2mm

200±0.2mm

主平台

22±1mm

32±1mm

47.5mm, 57.5mm, Notch

57.5mm, Notch

还原 标黑、超黑或按要求定制

切型Cut

X / Z / Y41° / Y64° / Y128° / YZ / YX

厚度

0.20mm~5.0mm

0.25mm~5.0mm

0.35mm~5.0mm

0.35mm~5.0mm

表面处理

单面抛光、双面抛光、研磨

TTV

< 1~5µm

BOW

± (20µm ~40um )

Warp

<= 20µm ~ 50µm

LTV (5mmx5mm)

<1.5 um

PLTV(<0.5um)

≥98% (5mm*5mm)  边缘 2mm除外

主面 Ra

粗糙度 Ra<=5A

背面处理

粗糙度 Ra:0.5-1.0µm, GC#1000

S/D

20/10, 40/20, 60/40

边缘

按照 SEMI M1.2@with GC800#  . C 型

裂缝、锯痕、污点